Characterization and metrology for ULSI technology - 1998 international conference : Gaithersburg, Maryland, March 1998
- Författare
- (Editors, David G. Seiler ..)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| American Institute of Physics | 1998 | USA, Woodbury New York | xv, 960 sidor. ill. |